高Al组分AlGaN及其光导器件

作者：陈亮; 许金通; 白云; 陈俊; 龚海梅

来源：激光与红外, 2006, (09): 868-870.

• AlGaN
• 紫外光
• 持续光电导性 AlGaN
• ultraviolet
• PPC

在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了掺Si的n型A l0.45Ga0.55N外延层,透射光谱表明材料对280nm以前紫外光显著吸收;双晶摇摆曲线表明材料存在大量缺陷。用此材料制作了光电导探测器,结合材料讨论了持续光电导效应的产生机理。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所