一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计

作者：南敬昌^*; 高飞; 李德润; 翟雷应; 李朝启; 刘世泽

来源：真空科学与技术学报, 2023, 43(09): 812-818.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202212017

• 射频微机械开关
• Ansoft HFSS
• COMSOL

针对射频电路系统所需要的低电压，高隔离度，低插入损耗的应用需求，通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究，设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑，通过增大上极板面积来降低开关的开启电压。分别使用HFSS和COMSOL对开关的射频性能和机械性能进行仿真，开关最终优化后，在8-12GHz内，插入损耗为0.26～0.57 dB，隔离度大于31.30 dB。在10.1 GHz达到最优值，插入损耗为0.40 dB，隔离度为50.25 dB。开关电压在11V时就能够实现状态转换，开关的响应时间为18μs。此开关可与射频可重构器件结合，应用于新一代射频微波领域。

• 单位
  辽宁工程技术大学