基于范德华铁电异质结的具有亚5 nm沟道亚热电子场效应晶体管（英文）

作者：王峰; 刘佳; 黄文浩; 程瑞清; 尹蕾; 王俊俊; Marshet Getaye Sendeku; 张玉; 詹雪莹; 单崇新; 王振兴^*; 何军^*

来源：Science Bulletin, 2020, 65(17): 1444-1450.

本文展示了基于铁电范德华异质结的具有小于5 nm沟道宽度的二维亚热电子场效应晶体管.该器件分别由石墨烯作为电极,二硫化钼作为导电沟道, CuInP2S6作为铁电介电层.研究表明,所制造的长沟道器件在室温下具有3个数量级的开关比,几乎无回滞,并具有亚热电子的开关特性.此外,本文使用金属碳纳米管作为有效的栅极制备了超短沟道器件.该器件同样表现出亚热电子开关特性,室温下亚阈值摆幅最小可达6.1 mV/dec.

• 单位
  中国科学院; 中国科学院大学; 郑州大学