本文探讨了能量色散X射线荧光光谱仪的校准方法,包括部件计量性能的校准如能量分辨力、重复性、稳定性、峰背比、计数线性等,同时也对利用标准物质进行整机校准的方法如示值误差和重复性的进行了说明,给出了相关的计量性能要求,为实验室和计量机构评价仪器提供了参考。