科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
利用化学机械抛光对氧化铝陶瓷进行加工，结合表面算术平均高度Sa和均方根高度Sq，研究偏斜度Ssk和陡度Sku随抛光时间的变化规律，分析光滑表面形成机理。结果表明：随着抛光时间的延长，Sa和Sq呈先快速下降后缓慢下降的规律；Ssk呈先下降后上升再波动的规律；Sku呈先上升后下降再上升的规律。塑性去除、晶粒断裂和晶粒脱落三种作用机理是表面高度分布变化的本质，其中塑性去除作用贯穿整个抛光过程，有利于形成光滑表面；而晶粒断裂和晶粒脱落则主要作用于较光滑表面，这也是Ssk和Sku在抛光后期呈波动变化的主要原因。
-
单位中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
