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摘要
文中针对光致发光缺陷检测仪成像系统的特点，提出其性能评估装置与方法，并评估了测量不确定度。采用不锈钢薄片刻蚀等宽等距的矩形镂空的方式制备评估装置。利用太阳电池光致发光作为背景光，使用光致发光缺陷检测仪对其进行拍摄，之后使用人眼或算法对拍摄到的黑白线对图像进行判别，根据判别结果对设备性能成像进行评估。实验结果表明，该评估装置和方法能够用于光致发光缺陷检测仪的成像系统性能评估，并且对于黑白线对的判别，算法判别的准确率与一致率优于人眼判别。光致发光缺陷检测仪成像系统空间分辨率的人眼判别和算法判别的扩展不确定度分别为0.34lp/mm和0.32lp/mm,k=2。文中提出的方法为光致发光缺陷检测仪成像系统的性能评估提出了新思路。
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单位福建省计量科学研究院
