有源区Be掺杂对1.3μm InAs量子点激光器性能的影响

作者:杜安天; 曹春芳; 韩实现; 王海龙; 龚谦
来源:红外与毫米波学报, 2023, 42(04): 450-456.
DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2023.04.004

摘要

利用分子束外延技术在GaAs(100)衬底上生长了1.3μm InAs DWELL量子点激光器结构,研究了有源区Be掺杂对量子点激光器性能的影响。研究表明,对有源区进行Be掺杂可以有效降低InAs量子点激光器的阈值电流密度,提升激光器的输出功率,增加激光器的温度稳定性。研制的Be掺杂InAs量子点激光器的阈值电流降低到12mA,相应的阈值电流密度仅为100 A/cm2,激光器的最高输出功率达到183 mW,最高工作温度达到了130℃。这对InAs量子点激光器器件在光通信系统中的应用具有重要意义。

全文