西安交通大学微纳电子器件实验中心共享平台简介

来源：微纳电子与智能制造, 2020, 2(02): 155.

<正>西安交通大学微纳电子器件实验中心共享平台是2019年成立的校级共享实验中心,位于西安市西咸新区西安交通大学中国西部科技创新港。中心成立于当今微电子技术的发展已进入后摩尔时代,新型半导体材料和基于新原理的信息器件成为微电子发展的主要突破口的大背景下,面向国家重大战略需求,以"大平