等离子去胶机的结构原理与维护调试和故障分析

作者：杨博; 郝晓亮; 赵英伟

来源：电子工业专用设备, 2023, 52(04): 20-24.

• 等离子去胶
• 维修维护
• 自动匹配

以单片去胶设备为例，介绍了等离子去胶机的结构原理，对其维护标准和调试方法进行了详细阐述，对常见的故障和解决方法进行了总结，最后针对射频自动匹配模块分析了典型维修案例。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所