基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制

作者：张高燕; 吴少华; 赵湛

来源：传感技术学报, 2011, (07): 966-969.

• 硅基集成传感器芯片
• 水参数监测
• MEMS
• 四电极式电导率测量 integrated sensor chip on silicon
• water parameter monitoring
• four-electrode conductivity measurement

水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果。良好的线性曲线有利于后续的标定与应用。这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高。

• 单位
  中国科学院研究生院; 浙江大学城市学院; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所