基于波前传感法的立方相位板面形测量

作者：吴青青; 张效栋; 房丰洲; **

来源：光学技术, 2014, 40(02): 105-112.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.02.002

• 立方相位板
• 波前传感器
• 面形测量

针对立方相位板的曲面特征,基于波前传感方法设计了面形测量系统。提出了波前数据到曲面面形的映射模型,借助图像处理方法有效地提高了测量的动态范围,实现了较大曲率的立方相位板面形精度的超精密测量。仿真分析表明,该模型的转换精度同传统算法相比提高了23倍,测量的动态范围提高了4倍,且仍有提高空间。最后搭建的实验系统实现了实际立方相位板面形的测量,通过与Wyko白光干涉仪的测量数据对比,验证了测量的准确性。

• 单位
  天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室; 天津微纳制造工程技术中心