调制周期对Cr/CrN多层膜结构及性能的影响

作者：黄儒明; 代明江^*; 林松盛; 刘洪喜

来源：热加工工艺, 2019, 48(10): 136-139.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.10.032

• 电弧离子镀
• 调制周期
• Cr/CrN多层膜

采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明:调制周期的变化对Cr/CrN多层膜硬度影响较小;随着调制周期的减小,Cr/CrN多层膜致密性逐渐提高;不同调制周期下,Cr/CrN多层膜与基体结合力均在100 N以上,其中调制周期为321 nm的Cr/CrN多层膜的韧性及与基体结合性能最优;调制周期为569 nm的Cr/CrN多层膜的磨损率最低。

• 单位
  广东省现代表面工程技术重点实验室; 广东省新材料研究所; 昆明理工大学