基于IS010110-5的面形评价参数研究

作者：赵兵; 王伟; 陈磊

来源：大气与环境光学学报, 2012, (04): 303-309.

• ISO10110-5
• Zernike多项式
• 面形评价
• 波面分解 ISO10110-5
• Zernike polynomial
• surface form evaluation
• wavefront decomposition

现在国外商用ZYGO干涉仪可提供一些基于ISO10110-5的面形评价参数,而国内的自制干涉仪还没有这项功能。ISO10110-5中提出这些面形评价参数的计算可以通过波面分解的方法实现。运用Gram-Schmidt最小二乘法拟合得到Zernike多项式系数,再从包含被测信息的原始波面中依次减去各种表面面形偏差,就可实现对这些参数的定量分析。通过与ZYGO干涉仪的输出对比,验证了自编拟合程序所得数据的有效性,而通过波面分解得到的各种干涉图也有益于光学加工者分析偏差原因和器件应用后果。

• 单位
  南京理工大学; 中国人民解放军陆军工程大学