本发明公开了一种金属-金刚石肖特基功率器件及其过渡层设计方法,该金属-金刚石肖特基功率器件包括金刚石衬底和金属层,金刚石衬底和金属层之间设有立方氮化硼过渡层,立方氮化硼过渡层含有1～3层硼氮原子层厚度,并与金刚石衬底的(111)面以碳硼键或碳氮键连接,立方氮化硼终端原子采用H、F饱和或零修饰。该立方氮化硼过渡层可以调节金刚石/Au界面模型的肖特基势垒。该过渡层设计方法为实现金属-金刚石肖特基功率器件电极的双极型调控并为有效调节欧姆接触与肖特基接触提供了新思路。
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