可调脉冲功率(MPP)磁控溅射电源研制及放电特性的研究

作者：魏松; 田修波; 巩春志

来源：真空, 2013, (03): 6-9.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2013.03.012

• 高功率脉冲磁控溅射
• 可调脉冲电源
• 放电特性
• 单片机 HPPMS
• modulated pulsed power
• discharge characteristics
• single chip microcomputer

可调脉冲电源MPP(modulated pulsed power)磁控溅射技术是一种新型的高功率磁控溅射技术。基于STC12C5A60S2单片机为控制单元研制了MPP电源。电源可以输出多种脉冲波形,能够实现优化的高功率脉冲磁控溅射工艺。MPP放电模式表现为初始的弱放电和随后的高功率大电流放电行为。MPP放电电压影响着高功率放电电流和脉冲宽度,而放电气压主要影响起辉时刻,但对放电电流大小影响不大。引入引燃脉冲可实现低气压下的高功率大电流放电。

• 单位
  哈尔滨工业大学; 先进焊接与连接国家重点实验室