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摘要
随着微纳米工艺的发展，微光学元件的制备和应用成为重要研究方向。生物复眼具有视场大、体积小、动态特性好等优点。微透镜阵列是一种常用的仿生复眼的光学元件，具有广泛的应用场景。本文提出了一种基于电喷墨打印技术制备多焦距的曲面微透镜阵列的工艺，制备的多焦距微透镜阵列可以解决曲面基底和平面的图像传感器焦距不匹配引起的离焦模糊问题。首先基于电喷印技术制备平面的多焦距微透镜阵列，然后在表面形成抗粘层并倒模，得到微透镜阵列凹模，最后经负压弯曲注胶固化过程，制备了多焦距的曲面微透镜阵列。阵列的整体半径为6毫米，焦距范围为4.9-6.23毫米，总方向角大于60°。
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