提出一种新的直径测量方法及系统,系统中扫描转镜的两个相关反射面相对旋转中心呈非对称设计,形成差动扫描。系统工作时,该对反射面扫描获得两组角度计数脉冲,根据特定差动测量公式计算出工件直径。理论分析和实验研究表明,最大测量误差可以限制在±10μm。
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