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摘要
本发明公开一种基于可调动电感片上谐振器的制备方法,属于电子器件技术领域。制备操作步骤包括：在衬底上采用热释放胶带转移的方法转移纳米材料层；对转移完的纳米材料进行插层掺杂；在纳米材料层上采用正性光刻,结合离子束刻蚀的方法制备电感和电容的下极板；电子束蒸发沉积金属制备电容上极板和器件接触电极；得到片上谐振器。片上谐振器为集总电感和电容的串联LC谐振器,它的电感和电容的下极板具有额外的动电感且电导率高于传统金属材料。对电感部分施加直流偏压可以实现动电感的调节功能,使得整个片上谐振器在实现小型化和提升性能的同时实现谐振频率的调节,满足移动连接应用中射频设备的小型化和可调谐的需求。
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