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摘要
用脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验。首先,衬底温度分别取室温、200℃、400℃和600℃在Si衬底上沉积类金刚石薄膜;其次,衬底温度分别取400℃和600℃在316L医用不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对各种参数的薄膜样品进行检测。结果表明:在其它实验参数不变的条件下,衬底材料的改变不会导致薄膜微观结构发生明显改变;但是衬底温度升高将导致薄膜中sp2键和sp3键含量的减少、sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨相的转化并发生晶化、石墨晶粒的数量增多或体积增大。
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