6英寸N型碳化硅晶体多线切割工艺

作者：李斌; 魏汝省; 李鹏; 李天; 毛开礼; 何超; 张馨丹

来源：电子工艺技术, 2023, 44(04): 44-47.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2023.04.012

• 砂浆
• 多线切割
• 6英寸
• 碳化硅

采用砂浆多线切割工艺加工6英寸（1英寸=25.4 mm）N型碳化硅晶体，研究了此工艺中钢线张力、线速度、进给速度等切割参数对晶片切割表面的影响。通过优化切割工艺参数，最终得到高平坦度、低翘曲度、低线痕深度的6英寸N型碳化硅晶片。