四谱段TDICCD图像传感器的设计与制作

作者：徐道润^*; 刘业琦; 袁安波; 廖乃镘; 曲鹏程; 罗春林; 张晓琴

来源：半导体光电, 2022, 43(03): 547-551.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2022022601

• 时间延迟积分
• 四谱段
• 电荷耦合器件
• 图像传感器

设计并研制了一种四谱段时间延迟积分电荷耦合器件(TDICCD)图像传感器，器件将四个TDICCD集成在同一芯片上，通过在光窗对应位置上镀不同的窄带滤光膜实现多谱段分光。该TDICCD图像传感器的像元尺寸为28μm×28μm,水平寄存器的有效像元数为3 072元，行频为10 kHz,电荷转移效率高达0.999 99,饱和输出电压为2 650 mV,抗弥散能力大于等于100倍，动态范围为7 143∶1。