KOH和TMAH基腐蚀液中凸角补偿结构的研究

作者：孙卫华; 韩建强^*; 徐宇翔; 张智超; 施阁

来源：中国计量大学学报, 2023, 34(03): 421-428.

• 各向异性湿法腐蚀
• 凸角补偿
• 加速度计
• 底切率
• 补偿深度

目的:在湿法各向异性腐蚀MEMS微结构过程中常出现凸角底切现象，需要设计凸角补偿图案以获得完整的凸角结构。方法:实验测量了不同电阻率的硅片在KOH和TMAH基腐蚀液中的底切率和八种凸角补偿图案的补偿深度，并与理论预测的补偿深度进行对比。结果:1)在KOH腐蚀液中加入IPA,底切率没有变化；但在TMAH腐蚀液中加入IPA,底切率显著降低；2)对KOH、KOH-IPA和TMAH溶液，硼掺杂浓度对底切率的影响不大。但在TMAH-IPA腐蚀液中，随着硼掺杂浓度增加，底切率减小；3)使用叠加正方形、<100>补偿条、<100>宽梁和窄梁作为凸角补偿图案，可以获得完整的凸角；其它补偿图案在凸角处出现了削角，但占用的补偿面积较小。结论:完善了凸角补偿理论体系。

• 单位
  机电工程学院; 中国计量大学