摘要
采用固相法制备了新型微波介质陶瓷HoVO4。研究了微波性能与微观形貌、致密度和拉曼半高宽之间的关系,并分析了拉曼光谱中化学键的振动模。HoVO4在1 150℃烧结得到最优微波介电性能:εr=11.52,Q×f=27 271 GHz,τ_f=-22.39×10-6/℃。选取正τ_f值的TiO 2与负τ_f值的HoVO4进行复合,得到谐振频率温度系数近零的微波陶瓷,当TiO2掺杂量为6%、烧结温度为1 200℃时获得最佳微波介电性能为:εr=14.14,Q×f=18 978 GHz,τ_f=2.4324×10-6/℃。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学