宁波材料所在高迁、高稳氧化物薄膜晶体管方面取得研究进展

来源：稀土信息, 2023, (06): 18.

<正>由于跟非晶硅面板制程兼容，非晶氧化物InGaZnO(IGZO)自从在实验室被发现后，很快进入了显示驱动工业应用，如AMLCD、AMOLED、LTPO面板驱动。以IGZO为代表的非晶氧化物薄膜晶体管(TFT)在较高的迁移率(10 cm2/Vs左右)、低温大面积制程(可至G8面板以上)、低的关态电流(约比低温多晶硅TFT低1000倍)等方面具有独特的优势。然而，伴随着显示技术的快速发展，

• 单位
  中国科学院宁波材料技术与工程研究所