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摘要
为提高光学元件表面的检测精度,提出基于嵌入技术的光学元件表面疵病在线检测方法。硬件部分:采用嵌入式的系统开发技术,结合传感器设计,建立光学元件表面疵病在线检测的A/D、D/A总线协议。软件部分:采用嵌入式的传感器识别技术,感知光学元件表面疵病的信息,结合边缘及纹理检测技术,识别光学元件表面纹理信息,提取纹理的差异性特征,实现对光学元件表面疵病点的准确定位和检测。通过实验结果得知,该方法能有效实现光学元件表面疵病在线检测,检测的精度较高,定位的均方根误差平均为0.085,整体性能较优越。
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