纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

作者：吴恩明

来源：低碳世界, 2018, (06): 347-348.

DOI：10.16844/j.cnki.cn10-1007/tk.2018.06.244

• 纳米硬度计
• MEMS力学检测
• 纳米压痕法
• 纳米划痕法

在MEMS力学检测中,纳米硬度计的应用具有重要意义,本文首先对MEMS力学检测与纳米硬度计的发展现状、测试原理作出阐述,然后利用纳米硬度计对多种材料的硬度进行检测,分别探讨纳米压痕法和纳米划痕法的具体应用,希望对业内可以起到一定参考作用。