恒电流电沉积法制备Cu-In薄膜

作者：李健; 朱洁

来源：金属学报, 2006, (06): 667-672.

• Cu-In合金膜
• 电沉积
• 表面形貌
• 合金成分 Cu-In alloy film
• electrodeposition
• surface morphology
• alloy composition

以金属Ti为阳极,不锈钢薄片和镀Mo玻璃为阴极,采用恒电流电沉积的方法制备了化学计量比为1:1、厚度为 1 μm且致密均匀的Cu-In薄膜．分析了镀液离子浓度、电流密度、络合剂含量及添加剂种类对薄膜成分及形貌的影响．在除电流密度外其它工艺条件相同的情况下,采用不同阴极材料为衬底沉积Cu-In薄膜时,薄膜形貌、成分无差别,且电流密度对薄膜的形貌和成分控制起着关键的作用．此外,在镀液离子低浓度范围内,及Cu／In离子浓度比不变的前提下,镀液中金属离子总浓度的改变不会影响镀层的成分和形貌;十二烷基硫酸钠和苯亚磺酸钠可作为理想的辅助添加剂,能改善薄膜形貌,使其表面均匀、规整．由该方法制备的Cu-In预...

• 单位
  北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室