微型阵列束闸电子束偏转特性研究

作者：张雨露; 张利新; 刘俊标; 王文博; 殷伯华; 韩立

来源：电子显微学报, 2023, 42(02): 171-179.

DOI：10.3969/j.issn.1000-6281.2023.02.007

• 多束电子光学
• 微型阵列束闸
• 边缘场
• 串扰
• 带电粒子追踪

为了降低微型阵列式束闸边缘场和邻近电场对多束电子束的偏转影响和串扰，本文以3×3阵列束闸为研究对象，利用COMSOL Multiphysics中的静电和带电粒子追踪模块，研究束闸长宽比、隔离接地极和束闸上方增加接地层对电子束偏转的影响。研究表明，在长宽比不变的情况下，边缘场对电子束偏转的影响在总偏转量中的占比与偏转电压无关；而偏转极板的长宽比越大越有利于精确控制电子束的偏转；通过优化隔离接地电极结构与参数，可减小束闸之间的串扰引起的束斑模糊问题。为了减小边缘场和邻近电场对电子束偏转的影响，本研究分析得出，如果束闸上方接地层的作用范围小于100μm,可在一定程度上抑制串扰的影响。同时，分析表明将接地层上圆孔改为方孔后，也在一定程度上减小了不平衡电场带来的影响。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院电工研究所