第十七讲 薄膜与表面技术基础

作者：张以忱

来源：真空, 2012, (01): 87-88.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2012.01.001

• 原子
• 镀膜工艺
• 分子
• 反应堆材料
• 基体材料
• 界面层

<正>(上接2011年第6期第83页)6界面与薄膜附着6.1界面层在镀膜工艺中人们经常关心的问题是:能不能在某种材料上沉积所需要的薄膜,沉积薄膜的耐用性如何。如金刚石膜可以在Si硅片上沉积,但为什么不能直接在非常有用的红外材料Ge和

• 单位
  东北大学