摘要

为研究微结构在高g(重力加速度)值加速度环境中的动态特性,研究了高g值加速度环境下微结构动态测试技术,构建了高g值环境下微结构动态测试装置,利用高速转台产生的离心加速度实现高g值加速度环境,采用基于压电陶瓷的底座冲击激励装置实现在高g值加速度环境中对微结构的激励,应用内置自测试技术解决了高g值环境下微结构动态响应信号采集问题,测试了在0~10000g加速度环境下微结构的动态特性,获得其谐振频率与阻尼比等参数。测试结果表明,当微结构发生大变形时,其谐振频率会随着外部加速度增大而得到提高。