摘要

碳化硅材料比刚度高、导热性好、热稳定性好,是一种优良的反射镜材料,在空间光学遥感器中有着广泛的应用。同时,它具有硬度高、脆性大的特点,给反射镜加工带来困难,且加工周期长。比较了碳化硅材料不同加工技术的优缺点,选择了机器人柔性砂带磨削技术作为研究对象。针对某1550mm直径碳化硅反射镜坯加强筋的去除要求,设计了一套新型机器人柔带磨削系统,利用有限元方法对加工中的镜体应力进行了分析,并完成了某镜坯加强筋的去除,残余筋高度0.5~1mm。反射镜镜坯在完成镜面精磨、镀膜等处理后,利用干涉仪测试面形RMS为0.0157λ(λ=632.8nm),满足使用需求。遥感器于2020年发射,反射镜在轨运行表现良好。