基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究

作者：王淑娥; 曲艳丽; 董再励; 周磊; 刘柱

来源：微纳电子技术, 2011, (02): 132-137.

• 光诱导介电泳
• 氢化非晶硅
• 光电导薄膜
• 自动化操作
• ODEP芯片
• 虚拟电极 optically-induced dielectrophoresis(ODEP)
• hydrogenated amorphous silicon
• photoconductive thin film
• automatic manipulation
• ODEP chip
• virtual electrode

采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了氢化非晶硅(a-Si∶H)光电导薄膜,并利用双面胶技术封装ODEP芯片。构建了包括光投影模块和视频监控模块的ODEP自动化操作实验平台。以聚苯乙烯微粒为操作对象,进行微米尺度粒子的ODEP自动化操作实验,并深入研究了交流电压、投射光颜色和光电极形状对微粒运动速度的影响。实验结果表明,在交流电压频率和投射光颜色相同的条件下,粒子的运动速度与交流电压的幅值成线性关系,施加的交流电压幅值越大,微粒的运动速度越大。在交流电压的幅值和频率相同的条件下,投射光为白色时,粒子的运动速度最大;投射光为蓝色时,粒子的运动速度最小。当投射光为白光,电压为20V,...

• 单位
  中国科学院大学; 机器人学国家重点实验室; 中国科学院沈阳自动化研究所