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摘要
功能薄膜在光电器件、燃料电池、储能电池、气体分离、微电子及生物医学等领域表现出极大的应用潜力,成为学术界和工业界的研究重点.理解薄膜内部形貌形成机理，调控结晶行为和相分离结构，是提高薄膜器件性能的重要途径.散射技术，包括同步辐射X射线广角/小角散射(GIWAXS/GISAXS)、小角中子散射(SANS)、共振软X射线散射(RSoXS)，作为表征薄膜内部微纳结构的有效手段，不仅可以研究薄膜材料的结晶行为，包括结晶强度、分子堆积方式和取向性质，还可以研究薄膜内的相分离行为和界面取向与粗糙度等结构细节.同时，原位散射技术可以实时检测薄膜形貌的形成过程，对理解非平衡态形貌形成机制具有重要意义.本文不仅总结了GIWAXS、GISAXS、SANS、RSoXS和原位散射技术的基本工作原理，还通过经典案例详尽地介绍了各形貌表征技术的功能和数据解析过程，为科研工作者快速选择合适的形貌表征技术提供指导作用.
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单位上海交通大学; 化学化工学院
