磷锗锌晶体脆塑转变临界切削深度的研究

作者：曹中浩; 阳红^*

来源：机械科学与技术, 2021, 40(06): 908-911.

DOI：10.13433/j.cnki.1003-8728.20200139

• 磷锗锌晶体
• 纳米压痕实验
• 临界深度
• 超精密切削

为实现磷锗锌(ZnGeP2)晶体超精密切削,提高表面加工质量,获得纳米级的超光滑表面,基于纳米压痕实验计算出磷锗锌晶体表面脆塑转变临界深度。在此深度内切削材料产生脆塑转变,并以塑性方式去除。在此基础上,采用单点金刚石飞切机床DFC600A开展磷锗锌晶体超精密切削。通过控制切削深度低于磷锗锌晶体脆塑转变临界深度,使材料表面仅发生塑性变形,实现了晶体表面纳米级光滑表面加工,表面粗糙度达1.01 nm,达到了对磷锗锌晶体表面的加工要求,验证了方法的有效性。

• 单位
  中国工程物理研究院机械制造工艺研究所