类金刚石薄膜理论与实践—结构调控与性能

作者:彭继华; 苏东艺
来源:第七届粤港澳真空科技创新发展论坛暨2023年广东省真空学会学术年会, 中国广东中山, 2023-11-23.
DOI:10.26914/c.cnkihy.2023.074440

摘要

类金刚石薄膜的应用领域越来越广泛。本报告从研发与应用工作者的视角出发,重点介绍以下几个方面的基本知识与研究进展:1)sp3C的稳定条件,相应的制备方法、重要工艺参数控制;2)类金刚石涂层的内应力理论与消除途径;3)类金刚石涂层的脆性本质与韧化手段;4)类金刚石涂层的摩擦、腐蚀、电学性能综合调控思考。

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