半导体硅片的品质工艺与产品质量研究

作者：杨玉梅

来源：山东工业技术, 2018, (17): 61.

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2018.17.055

• 半导体硅片
• 品质工艺
• 产品质量

近年来,我国的半导体技术获得了飞速的发展,再加上国家给予的有力支持,国内的半导体产业逐渐发展壮大,但与国外相比,还存在较大差距,还需进一步提高产品质量。因此,本文就半导体硅片的品质工艺与产品质量展开研究,希望为我国半导体产业的发展提供一定借鉴。