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摘要
为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题，基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺，设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差，提升了加速度计振动环境适应性；加速度计量程达到±50g,非线性度0.2%,横向灵敏度0.17%,分辨率优于0.5mg,体积9 mm×9 mm×2.7 mm,功率损耗30 mW。针对随机振动环境对加速度计的输出精度进行了实验验证，结果表明，MEMS加速度计与标准传感器的输出误差为2.69%,能够满足大部分工程应用需求。
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