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摘要
集成电路材料是集成电路产业发展的基础。集成电路技术每前进一步都会对材料提出新的要求,而材料技术的每一次发展也都为集成电路新结构和新技术提供基础。全球每年约500亿美元的集成电路材料,支撑了全球每年超过4000亿美元的集成电路。中国集成电路材料经过十多年发展初步取得成效,但由于起步晚,发展仍然落后,高端产品严重依赖进口。本文全面梳理了中国集成电路材料各细分领域发展状况,并对产业现存问题进行扼要分析,为我国集成电路材料产业体系自主可控、安全可靠发展提供一定的参考。
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单位上海新微技术研发中心有限公司; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
