石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究

作者：林日乐; 李文蕴; 谢佳维; 满欣

来源：压电与声光, 2017, 39(03): 321-323.

• 石英微机械
• 陀螺
• 敏感芯片
• 结构解耦

石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提高了陀螺敏感芯片的稳定性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所