透射菊池衍射技术（TKD）的进展研究

作者：刘晶; 索红莉^*; 纪耀堂; 武鑫宇; 刘敏; 马麟; 戴银明; 张子立

来源：真空科学与技术学报, 2021, 41(10): 913-922.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202103012

• 透射菊池衍射
• 电子背散射衍射
• 纳米
• 分辨率

电子背散射衍射(EBSD)技术在材料晶体结构及取向信息的研究方面作出很大贡献,但其空间分辨率较低,在纳米晶体表征方面遇到困难。透射菊池衍射(TKD)技术自2012年提出以来,因其较高的空间分辨率,迅速在纳米材料表征领域受到极大关注。本文通过查阅总结大量文献,回顾了TKD技术的发展历程,并对其研究进展进行了总结。其中主要包括三大部分,首先介绍了TKD的工作原理及部分重要设置参数的影响。其次介绍了TKD近几年在纳米晶粒、大变形量金属以及氧化物薄膜等领域的应用。最后对TKD表征技术在未来的发展趋势进行了展望。

• 单位
  中国科学院电工研究所; 北京工业大学