摘要

X射线能量色散谱(EDS)分析方法在材料领域得到了广泛的应用。将空间差分方法应用到EDS分析中,能够突破电子束斑的限制,大大扩展其分析材料微小区域组分的能力。本文以钛酸锶基陶瓷材料中晶界纳米颗粒和晶界偏析为例,简要介绍了与EDS分析相关的空间差分方法,并进行了进一步的分析和讨论。