真空镀膜机的原理及故障排除策略探析

作者：邓学文; 徐柳

来源：科技与企业, 2016, (06): 194.

DOI：10.13751/j.cnki.kjyqy.2016.06.169

• 真空镀膜机
• 故障排除
• 策略

真空镀膜机主要应用在电子工业的元器件的生产和研制的过程中,该设备针对的是需要在较高真空下进行镀膜的元器件,本文将通过对真空镀膜设备的介绍以及在实际工作的应用及原理来分析故障排除的策略。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所