微纳晶体谐振器封盖移载机械手末端位置误差分析

作者：周晨珺; 胡剑; 喻信东; 肖佩; 李刚炎

来源：数字制造科学, 2019, 17(02): 95-100.

• 封盖移载机械手
• MDH模型
• 正运动学
• 误差模型

封盖移载机械手是一种移载微纳晶体谐振器封盖的装置,该装置要求其定位精度高、移载速度快。通过DH模型法,建立封盖移载机械手运动模型;基于MDH方法修正运动学模型并建立正运动学模型;利用Robotic Toolbox仿真验证运动建模的合理性;基于MDH建模方法建立统一的位置误差数学模型,得到各参数的误差对应末端位置坐标,为封盖移载机械手的安装、精度设计和误差分析提供理论依据。

• 单位
  湖北泰晶电子科技股份有限公司; 机电工程学院; 武汉理工大学