微等离子体氧化TiO2薄膜的研究进展

作者：杜瑞成; 李燕^*; 王霆; 王亮; 杨述燕

来源：山东化工, 2023, 52(14): 105-118.

DOI：10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2023.14.064

• 微等离子体氧化技术
• 二氧化钛
• 薄膜
• 机理
• 应用

微等离子体氧化TiO2薄膜耐磨性好，抗腐蚀强，硬度高及良好的生物相容性，广泛应用在生物医学，光催化，功能材料等领域。本文综述了微等离子体氧化TiO2薄膜的研究发展及应用，文章首先介绍了微等离子体氧化技术在国内外发展历程，然后阐述了微等离子体氧化TiO2薄膜机理，分析了微等离子体氧化TiO2薄膜制备的影响因素，阐述了对氧化TiO2薄膜的应用领域，最后针对微等离子体氧化TiO2薄膜发展应用的问题和不足，对其未来发展趋势提出可行性的建议。

• 单位
  兰州石化职业技术学院