摘要
本发明公开一种圆光栅测角误差补偿方法,包括以下步骤:在给定温度内,以温度梯度为5,获得不同温度下的圆光栅测角误差;利用谐波法建立在某温度下的圆光栅测角误差补偿模型;其次,利用多项式方法建立谐波系数与环境温度之间的函数关系;将多项式拟合得到的函数关系式代入谐波误差补偿模型,得到含有温度影响因子的圆光栅测角误差补偿模型;在不同温度梯度下,重复实验,得到新的测角误差,验证新型圆光栅测角误差补偿方法的补偿效果。本发明能够节约成本,提高旋转关节测角精度,进而提高便携关节式坐标测量测量精度和产品可靠性。
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