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摘要
晶圆良率是衡量晶圆产品质量的重要指标，实现其稳定优化能够有效控制生产成本。针对晶圆良率影响因素众多、数据量庞大等特点，以晶圆允收测试为依据，设计了基于改进粒子群算法的晶圆良率优化方法。该方法在晶圆允收测试数据预处理与关键参数提取基础上，建立评价粒子适应度的晶圆良率预测模型，设计迭代自适应的粒子群惯性因子与加速因子，以及基于模拟退火的局部搜索机制，实现最小调整成本下晶圆良率最大化目标。在某晶圆制造车间算例试验中，对比分析了改进粒子群算法与遗传算法、传统粒子群算法等优化结果，验证了本文方法的有效性。
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