基于荷花效应的双微观超疏水表面制作技术研究

作者：张鸿海; 谢丹; 刘胜; 甘志银

来源：中国机械工程, 2009, 20(02): 207-210.

DOI：10.3321/j.issn:1004-132X.2009.02.019

• 荷花效应
• 双微观结构
• 超疏水表面
• 纳米压印

提出了基于荷花效应的双微观结构的制作及其复制技术,介绍了采用阳极氧化技术制作双微观结构氧化铝模板的方法。应用该模板采用纳米压印技术可制作塑料微流通道,采用纳米压印、反应离子刻蚀结合硅烷化和烷基烯酮二聚体(alkyl ketene dimmer,AKD)处理法可制作硅基仿生功能结构。表面接触角测试表明,采用该技术制作的塑料及硅结构具有超疏水性。该工艺可用于微流器件、微传感器、微执行器等塑料或硅基微机电系统(MEMS)器件功能表面的改形制造,在实现微观器件表面减摩防粘功能上具有广泛的应用前景。

• 单位
  华中科技大学