一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板

作者：袁广才; 闫梁臣; 徐晓光; 王磊; 彭俊彪; 兰林锋

来源：2015-05-08, 中国, CN201510232985.5.

本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板,以解决背沟道刻蚀工艺制备金属氧化物薄膜晶体管时,有源层容易被腐蚀的问题。方法包括：在衬底基板上形成栅极金属薄膜,通过构图工艺使栅极金属薄膜形成包括栅电极的栅极金属层；在栅极金属层上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成有源层；在有源层上制备金属纳米粒子层用为刻蚀保护层；在完成上述工艺的衬底基板上形成源漏极金属薄膜,通过构图工艺使源漏极金属薄膜形成包括源电极和漏电极的源漏极金属层,源电极和漏电极覆盖部分金属纳米粒子层；利用氧等离子体去除或氧化金属纳米粒子层未被源电极和漏电极覆盖的部分；在源漏极金属层上形成钝化层。

• 单位
  华南理工大学; 京东方科技集团股份有限公司