与传统应力分布分析方法相比,基于中子衍射的单晶应力分布分析具有无损,穿透深度大(厘米级)等优势。本工作采用残余应力中子衍射仪对化学气相输运法生长的氧化锌单晶块体进行了残余应力测试和分析,结果表明利用该方法生长的氧化锌单晶内部残余应力空间分布随时间增加而变化的趋势,应力分布不对称转为对称,且应力的绝对值再变小,表明这种方法有助于生长残余应力较小的氧化锌单晶块体。
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