透射电子显微镜机械泵故障诊断及维修一例

作者：陈大兴; 杨慧; 金良韵; 赵君朋

来源：分析仪器, 2022, (03): 109-111.

DOI：10.3969/j.issn.1001-232x.2022.03.023

• 透射电子显微镜
• 机械泵
• 维修

真空系统是电子显微镜的重要组成部分，对电镜的性能影响极大。日本电子2100透射电镜对真空度的要求很高，目前采用机械泵-油扩散泵-离子泵三级真空系统，真空达不到仪器使用要求，电镜无法正常运转。本文介绍一例透射电镜机械泵的维修案例，分析故障现象产生原因及进行排除，最后对本案例进行分析讨论。

• 单位
  中心实验室; 首都医科大学